特点和优势
?回转对称物体的理想选择
?结构紧凑,较多可包含4 个运动轴
- 可提供机械轴承或空气轴承解
决方案
?可灵活测量**面、端面,直线电机,以及扁
平部分和球形部分
?机械设计适用于各种传感器
- 白光干涉仪
- 多波长干涉仪
- 视觉系统
- 接触式探头
?采用紧凑型设计,比传统笛卡尔
系统小60%
?高速设计比传统笛卡尔系
统快40%
?**的纳米级定位重复精度
?线性放大器技术
?多功能的软件架构,圆柱型直线电机,可轻松
实现集成
?采用先进的控制技术,可消除环
境干扰
?提供操作界面,可缩短上市
时间
产品名称:Aerotech ANT系列纳米定位平台
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