同步直线电机,PM中国,直线电机

“切片”（栅状扫描）命令将扫描与步进融合为具有特定

轮廓的运动来提高扫描产能

本系统包含气浮轴

承平台和双轴激光

干涉仪反馈功能，固定轴式直线电机，

可提供亚纳米级分

辨率。

Aerotech 拥有多种中空平台配置，包括

非常适用于光学晶片检查应用的空气

轴承和机械轴承系统。

Aerotech 拥有多种中空平台配置，包括

非常适用于光学晶片检查应用的空气

轴承和机械轴承系统。

BLMH系列U型無刷線性馬達，直线电机，相較於其他不同供應商之線性

馬達，於同樣外觀尺寸條件下，BLMH提供**過他牌70%之連

續推力。BLMH系列線性馬達提供高性能磁性線圈，可提供

548.8 N (123.4 lb)之連續推力，與2195 N (493.5 lb)之峰值推

力。這種極端的高性能還能夠以特殊之強力磁鐵選項來額外

增加推力，並降低熱能產生。