PM中国 图 、圆形直线电机、直线电机

MPS50GR 和 MPS75GR 旋转平台可进行精定位，其占地型面低且紧凑。这些平台特别适用于实验室中的紧凑型空间和要求，直线电机，同时

也适用于制造环境。针对光学、测量、对准和其它要求苛刻的应用领域，MPS-GR 平台是理想之选。

Aerotech 的 MPS-SV 系列举升平台采用紧凑型经济设计，圆形直线电机，可进行高性能举升运动。这些举升平台有两种型号（MPS50SV 和

MPS75SV），特别适用于实验室研究和生产工艺等应用领域。通过使用众多的接盘支架，以及借助整个 MPS 平台系列所固有的安

装兼容性，多轴平台配置可轻松与其它的 MPS 线性和旋转平台进行组装。

MPS-GR

? 型面低且紧凑，带定位孔

? 精密蜗轮传动

? 直流伺服或步进电机

? 连续 360° 旋转定位

? 渐变桌面

? 能够用于高真空度环境

? 可选透镜安装接盘

? 紧凑型多轴配置，直线电机，带有线性和其它

MPS 系列平台

高精度 (±1.0 μm)

? 高真空度型号可选

? 可选波纹管导轨罩

? 紧凑型多轴配置

“切片”（栅状扫描）命令将扫描与步进融合为具有特定

轮廓的运动来提高扫描产能

本系统包含气浮轴

承平台和双轴激光

干涉仪反馈功能，

可提供亚纳米级分

辨率。

Aerotech 拥有多种中空平台配置，包括

非常适用于光学晶片检查应用的空气

轴承和机械轴承系统。

Aerotech 拥有多种中空平台配置，包括

非常适用于光学晶片检查应用的空气

轴承和机械轴承系统。