北京微纳通科技有限公司
集成型、低型面、XY 线性电机平台
? 大行程范围可达纳米级精度
? 各轴分辨率高 (1 nm)、重复性好 (75 nm)
高精度 (250 nm)
? 静态定位稳定性 <1 nm
? 防蠕动交叉滚子轴承
? 高动态性能