三维位移平台|位移平台|PM中国 查看

MPS50SL 是一种紧凑的高性能线性定位平台，位移平台，该平台特别适用于实验室环境，同时可提供生产环境中所需的高可靠性。针对空间有

限应用领域中的测量、测试、对齐和部件组装操作，xyz 位移平台，该平台是理想之选。

MPS50SL

? 行程达 50 mm

? 精磨滚珠丝杆和导向丝杆传动

? 直流伺服或步进电机

? 交叉滚子轴承

? 分辨率高 (0.1 μm)、重复性高 (±0.75 μm)、

高精度 (±1.5 μm)

? 高真空度型号/版本

? 紧凑型多轴配置

? 可开环或闭环控制，控制压电纳米定

位平台的一至四轴。

? 高精度 20 位分辨率传感器，精密位移平台，适用于闭

环控制的电容传感器反馈信号

? 自学习控制、谐波消除和命令执行之

类的高级控制功能可改善跟踪误差和

整体运动控制性能

独立、多轴压电运动控制器

? 可开环或闭环控制，控制压电纳米定

位平台的一至四轴。

? 高精度 20 位分辨率传感器，适用于闭

环控制的电容传感器反馈信号

? 自学习控制、谐波消除和命令执行之

类的高级控制功能可改善跟踪误差和

整体运动控制性能

独立、多轴压电运动控制器