aerotech 图 、微定位平台、定位平台

高精度直接驱动

旋转定位台和转台

?高负载角接触轴承或气浮轴承

?高精度闭环控制

?无齿槽效应的无刷无槽电动机

可实现平滑运动

?为客户信号和电源提供多种集

成的低噪音滑环选择

?可满足高速或高转矩配置要求

的多种发电机类型

?**的误差运动性能

?双液体或气体口

?低维修率设计

?位置分辨率达0.000006°

(0.1 μrad)（0.02 角秒）

强大、灵活、易用的控制系统

? 采用带有 StageID 的即插即用型控制器，可检测电机连接，

并可自动对其自身进行适当的配置

? 界面借助 LabVIEW?、MATLAB?、

C、ASCII、EPICS、TANGO 或内置 Windows? GUI

? 采用直观的英语命令语法

? 具有全协调运动功能

? 只需单击“EasyTune” 即可设置伺服增益