国产直线电机、PM中国、直线电机

挑战

AFM 可生成分辨率较高、具有十分复杂几

何特征的图像。直线电机。难点之处在于需要找到一

种定位十分准确且在定位时不发生移动的

运动平台。喜多直线电机。定位不稳定是AFM 不能容许

的一种伴随运动。

带气动配重Z 轴的Invar

ALS130-XY 经过特别设计，

大大提高了热稳定性。

ANT180-XY

平台系统

ANT130-XY ANT95-XY-ULTRA

多种可选离散或机架

安装式线性放大器

0 5 10 15 20 25 30

1

0

1

2

3

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5

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1 nm 级分辨率

ANT95-XY-ULTRA 的1 nm 步阶图

位置 (nm)

时间(秒)

BLMH 无铁心直线电机1与其他厂家同等结构的产品相比，可以多输出70%的持续推力

2可选择特殊磁体获得更高的推力

3横截面114.1mmhighx50.8mm

持续推力ContinuousForce：61-123lb

峰值推力PeakForce：243-494lb