机械规格
型号MPS50GR MPS75GR
行程360° 连续
精度
标准250 弧秒200 弧秒
机械规格
型号MPS50GR MPS75GR
行程360° 连续
精度
标准250 弧秒200 弧秒
校准80 弧秒80 弧秒
校准80 弧秒80 弧秒
QNP-XY 系列
? 高精度、无摩擦型弯曲导向系统
? 专有的压电多层堆叠型运动控制器
? 100、250 和 500 μm 行程 闭环选件
? 定位分辨率高、精度高,采用能够直
接计量的传感器选件
? 可与其它 QNP 系列压电纳米定位器配
合安装(L 和 Z)
? 开环和真空版本可选