国产直线电机,直线电机,PM中国 查看

ANT-20G

? 非接触、无接头、无摩擦型直驱，适

用于零间隙或零磁滞情形

? 高速（150 度/秒）

? 高分辨率（0.05 弧秒）

? 优异的静态定位稳定性

? 20° 大旋转角度

? 两个摇台采用正交安装方式，可围绕

同一点进行旋转

? 免维护

? 紧凑型设计

测试、测量及检测能力.................................................................................................2

传感器测试

惯性传感器测试和校准.................................................................................................6

运动模拟器.....................................................................................................................8

一般传感器测试.............................................................................................................12

表面轮廓量测

表面测量运动平台(SMP)..............................................................................................16

传统轮廓量测和测量解决方案.....................................................................................18

无损测试

X 光检测........................................................................................................................20

超声测试.........................................................................................................................22

半导体检测与计量

薄膜测量........................................................................................................................24

晶片检测.........................................................................................................................26

原子力显微镜.................................................................................................................28

缺陷检测/粒子扫描......................................................................................................30

电磁特性.........................................................................................................................32

分度检测........................................................................................................................33

SEM、TEM 和FIB ...........................................................................................................