高精度直接驱动
旋转定位台和转台
?高负载角接触轴承或气浮轴承
?高精度闭环控制
?无齿槽效应的无刷无槽电动机
可实现平滑运动
?为客户信号和电源提供多种集
成的低噪音滑环选择
?可满足高速或高转矩配置要求
的多种发电机类型
?**的误差运动性能
?双液体或气体口
?低维修率设计
?位置分辨率达0.000006°
(0.1 μrad)(0.02 角秒)
交货迅速
Aerotech 备有常用部件,圆柱型直线电机,可在不到两周的时间里快速交货。
**性的服务和支持
售后服务和技术支持办事处位于北美、欧洲和亚洲,直线电机,并可用五种
语言提供服务。您无论身在何处,Aerotech 都可提供帮助。
符合真空和净化室要求
几乎所有的产品都可进行专门的制备,用于 10-8 Torr 真空或
100 级净化室环境。